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Mesure d'épaisseur de film instrument

Mesure d'épaisseur de film instrument

Mesure d'épaisseur de film instrument

商品分类描述:

L'instrument de mesure d’épaisseur de film est un équipementdispositif de mesure sans contact. Il effectue adopte la numérisation en ligne avec le capteur de déplacement confocaux confocal du pilote de nouveau ultra-haute, qui est principalement utilisé pour mesurer l'épaisseur des différentes couches minces, l'épaisseur de la couche conductrice, l'épaisseur du revêtement, l'épaisseur de couche du revêtement. Il aborde spécifiquement la questionles problèmes de la mesure de film d'épaisseur industriellement, pour l'amélioration des processus, améliorant et ainsi l'efficacité et la qualité de production.

 

 

La technologie avancée de mesure, avec les algorithmes de mesure professionnels, de la grande précision, de ± 1um, la répétabilité de ± 0,5 μm, peut répondre à vos besoins de mesure de haute précision. la vitesse de numérisation maximale peut atteindre 50 mm / s, largeur 15mm.

 

Modèle

CLS-T150

Vitesse de mesure

≤50mm/s

Durée de mesure

≤2secondes / fois

Espacement du point de mesure

≥1μmmConfiguration gratuite

Précision de mesure

±1μm

Course (direction X)

15mm-40mm (Facultatif)

Précision de répétition (X)

±0.5μm

Range (direction Z)

400μm/1400μm/4000μm

Précision (Z)

±0.1μm/0.5μm/1μm

Epaisseur minimale mesurable

1μm

Fréquence d'échantillonnage

100Hz-10kHz

Tension Pull-in

24V?DC

Temps de Pull-in

500ms

Tension d'entrée de l’ordinateur hôte

90-264V AC

Puissance nominale de l’ordinateur hôte

400W

Entrée du capteur

24V DC 3A