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  • Mesure d'épaisseur de film instrument

    L'instrument de mesure d’épaisseur de film est un équipementdispositif de mesure sans contact. Il effectue adopte la numérisation en ligne avec le capteur de déplacement confocaux confocal du pilote de nouveau ultra-haute, qui est principalement utilisé pour mesurer l'épaisseur des différentes couches minces, l'épaisseur de la couche conductrice, l'épaisseur du revêtement, l'épaisseur de couche du revêtement. Il aborde spécifiquement la questionles problèmes de la mesure de film d'épaisseur industriellement, pour l'amélioration des processus, améliorant et ainsi l'efficacité et la qualité de production.

     

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    La technologie avancée de mesure, avec les algorithmes de mesure professionnels, de la grande précision, de ± 1um, la répétabilité de ± 0,5 μm, peut répondre à vos besoins de mesure de haute précision. la vitesse de numérisation maximale peut atteindre 50 mm / s, largeur 15mm.

     

    Modèle

    CLS-T150

    Vitesse de mesure

    ≤50mm/s

    Durée de mesure

    ≤2secondes / fois

    Espacement du point de mesure

    ≥1μmmConfiguration gratuite

    Précision de mesure

    ±1μm

    Course (direction X)

    15mm-40mm (Facultatif)

    Précision de répétition (X)

    ±0.5μm

    Range (direction Z)

    400μm/1400μm/4000μm

    Précision (Z)

    ±0.1μm/0.5μm/1μm

    Epaisseur minimale mesurable

    1μm

    Fréquence d'échantillonnage

    100Hz-10kHz

    Tension Pull-in

    24V?DC

    Temps de Pull-in

    500ms

    Tension d'entrée de l’ordinateur hôte

    90-264V AC

    Puissance nominale de l’ordinateur hôte

    400W

    Entrée du capteur

    24V DC 3A

     

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