
Mesurer la rugosité du chariot de la lentille
Exigences de mesure
Numériser la surface à trois dimensions du chariot de la lentille, pour mesurer la rugosité de surface.
Vue d'ensemble des caractéristiques principales
1. Mesure sans contact, conception intégrée;
2.Numériser la forme tridimensionnelle, traitement des données multi- fonctionnelles;
3. Adapté pour la mesure précise d’une variété de matériaux;
4. Utilisation simple, montage et démontage facile;
5. Grande vitesse de numérisation, avec grande précision de positionnement;
6. Garantie de précision de répétition de ± 0,5 à ± 1 μm;
7.Grande stabilité, avec la grande capacité anti- interférence
Résultats de mesure
La rugosité de surface supérieure Ra est d'environ 2 μm.
Résoudre les problèmes existant dans le dispositif de mesure de stade actuel
1. Certaines exigences sur les matériaux de mesure;
2. Mesure de contact, dégâts sur les matériels de mesure;
3. Petite plage de mesure, localisation incertaine, difficultés de mesure;
4. Mesure lente, faible précision, erreur de mesure importante;
5. Structure complexe, coût élevé.
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