Exigences de mesure

Numériser la forme en trois dimensions sur la surface des composants électroniques, pour l’extrait de différence de segment sur la position souhaitée de la surface.

Vue d'ensemble des caractéristiques principales

1. Mesure sans contact, conception intégrée;

2. Numériser la forme tridimensionnelle, traitement des données multi- fonctionnelles;

3. Adapté pour la mesure précise d’une variété de matériaux;

4. Utilisation simple, montage et démontage facile;

5. Grande vitesse de numérisation, avec grande précision de positionnement;

6. Garantie de précision de répétition de ± 0,5 à ± 1 μm;

7. Grande stabilité, avec la grande capacité anti- interférence.

Résultats de mesure

La différence de segement sur la position mesurée est d'environ 70μm.

Résoudre les problèmes existant dans le dispositif de mesure de stade actuel

1. Certaines exigences sur les matériaux de mesure;

2. Mesure de contact, dégâts sur les matériels de mesure;

3. Petite plage de mesure, localisation incertaine, difficultés de mesure;

4. Mesure lente, faible précision, erreur de mesure importante;

5. Structure complexe, coût élevé.